专利摘要显示，本发明提供一种等离子体处理装置，其包含：真空反应腔，其内有可升降下电极组件，真空反应腔底壁设有射频屏蔽基板；射频导杆，其顶端与下电极组件下方电连接；可伸缩密封组件，其沿射频导杆的轴向伸缩，且设在可升降下电极组件和真空反应腔底壁之间；屏蔽传动组...

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依托康沃思物联自主研发的CtrlWorks楼宇自控系统，聚焦节能降碳、高效运维打造智慧建筑设备管控平台，以AIoT智能物联网技术为核心，融合边缘计算、云计算及大数据技术，将照明、冷热源、空调、送排风、电梯、给排水等众多系统纳入智能监控范围，对分散设备的运行...